當(dāng)前位置:深圳市中圖儀器股份有限公司>>激光測(cè)量?jī)x>>激光干涉儀>> 激光干涉儀sj6000
中圖儀器激光干涉儀sj6000配置主要由SJ6000主機(jī)、EC20環(huán)境補(bǔ)償單元、線性鏡組、SJ6000靜態(tài)測(cè)量軟件等組件構(gòu)成,可滿足0~80m范圍內(nèi)的線性測(cè)量。
性能特點(diǎn)
集光、機(jī)、電、計(jì)算機(jī)等技術(shù)于一體,產(chǎn)品采用進(jìn)口高性能氦氖激光器,其壽命可達(dá)50000小時(shí);
采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),可實(shí)現(xiàn)高精度、抗干擾能力強(qiáng)、長(zhǎng)期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出;
采用高速干涉信號(hào)采集、調(diào)理及細(xì)分技術(shù),可實(shí)現(xiàn)高4m/s的測(cè)量速度,以及納米級(jí)的分辨率;
采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊,可實(shí)現(xiàn)激光波長(zhǎng)和材料的自動(dòng)補(bǔ)償;
采用高性能計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)及軟件技術(shù),支持中文、英文和俄文語(yǔ)言,友好的人機(jī)界面、向?qū)降牟僮髁鞒?、?jiǎn)潔化的記錄管理。
激光干涉儀sj6000具有測(cè)量精度高、測(cè)量范圍大、測(cè)量速度快、最高測(cè)速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn),結(jié)合不同的光學(xué)鏡組,可實(shí)現(xiàn)線性測(cè)長(zhǎng)、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測(cè)量。
線性測(cè)量
機(jī)床垂直度
在動(dòng)態(tài)測(cè)量軟件配合下,sj6000激光干涉儀還可實(shí)現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動(dòng)態(tài)測(cè)量與性能檢測(cè),以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析,如振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。
自動(dòng)化設(shè)備精度測(cè)量
回轉(zhuǎn)軸精度測(cè)量
技術(shù)參數(shù)
產(chǎn)品型號(hào):SJ6000
產(chǎn)品名稱:SJ6000激光干涉儀
穩(wěn)頻方式:激光熱穩(wěn)頻
穩(wěn)頻精度:0.05ppm
線性測(cè)量精度:0.5ppm(0-40)℃
線性測(cè)量距離:(0-80)m(無(wú)需遠(yuǎn)距離線性附件)
角度測(cè)量精度:±不低于±0.04% ±0.5 ±0.1M µm/m
測(cè)量分辨力:1nm
動(dòng)態(tài)采集頻率:50KHz
預(yù)熱時(shí)間:≤6分鐘
工作溫度范圍:(0-40)℃
環(huán)境溫度范圍:(0-40)℃,環(huán)境濕度:0-95%
主要特點(diǎn):應(yīng)用范圍廣、測(cè)量精度高、操作方便
生產(chǎn)企業(yè):深圳市中圖儀器股份有限公司
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